Tworzenie się warstw powierzchniowych azotku i węglika tytanu w procesach krystalizacji z fazy gazowej w atmosferach chlorkowych

OPIS:

W monografii sformułowano  ściśle  spójny  opis  i  model  tworzenia  się warstw TiN, TiC i TiCN w różnych obszarach wyładowania jarzeniowego prądu stałego, w oparciu o badania przeprowadzone w oryginalnym urządzeniu PACVD z chłodzoną anodą.

Książka przeznaczona jest dla pracowników naukowych zajmujących się metodami CVD.

 

Autor: Jerzy Michalski
ISBN: 83-904574-8-2
Rok wydania: 2001
Objętość: 84 str.
Ilustracje: 15 tabl., 58 rys.